文献类型：期刊文献

中文题名：类金刚石膜的制备方法和性能

英文题名：Preparation Method and Performance of DLCF

作者：李雪[1]

机构：[1]绍兴文理学院物理与电子信息系

年份：2009

卷号：23

期号：6

起止页码：165

中文期刊名：重庆工学院学报：自然科学版

收录：CSTPCD

基金：国家自然科学基金资助项目(60776004)

语种：中文

中文关键词：类金刚石膜;制备方法;结构

外文关键词：DLCF; structure ; performance

中文摘要：分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法进行了介绍.

外文摘要：This paper analyzes the structure, performance and influential factors of diamond-like carbon （DLC） film, elaborates its application, and introduces the preparation methods of DLC including PCVD method, CCVD method and plasma-strengthened CCVD.