文献类型：专利

中文题名：一种极紫外激光的调Q装置

作者：尉鹏飞[1];俞军[1];郁慧珍[1];张丽英[1];杨丁中[1];董一鸣[1];袁晓龙[1];曾志男[1];李儒新[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：实用新型

申请号：CN201520183856.7

申请日：20150331

申请人地址：312000 浙江省绍兴市城南大道900号数理信息学院

公开日：20151014

代理人：蒋卫东

代理机构：绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)

语种：中文

中文关键词：一侧;平移台;全反镜;气体盒;极紫外;内部安装;合束片;铝膜;光源;激光;透镜;驱动;惰性气体;激光输出;驱动透镜;外部安装;调Q装置;分束片;可调的;焦点;实用;椭偏;下方;简易;操作;内部;涉及;促进;发展

中文摘要：本实用新型涉及极紫外激光的调Q装置，包括光源，光源的一侧安装有分束片，驱动光束一侧安装有第一平移台，第一平移台内部安装有驱动透镜，第一平移台一侧安装有第一全反镜、第二全反镜和第三全反镜，第三全反镜下方安装有合束片；调Q光束一侧安装有第二平移台，第二平移台内部安装有调Q透镜，第二平移台的一侧安装有第四全反镜，第四全反镜的一侧安装有椭偏器，合束片的另一侧安装有气体盒，气体盒内有惰性气体，气体盒的内部还具有调Q焦点和驱动焦点，气体盒的外部安装有铝膜，铝膜的一侧为Q值可调的极紫外激光。本实用新型结构简单，操作简易，适用性强，不仅提供了极紫外激光输出的调Q新手段，而且将促进相关领域的深入发展。