文献类型：专利

中文题名：一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法

作者：谭永胜[1];李秀东[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：发明专利

申请号：CN201911388696.9

申请日：20191230

申请人地址：312000 浙江省绍兴市环城西路508号

公开日：20200508

代理人：邓爱民

代理机构：33285 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙)

语种：中文

中文关键词：溅射沉积;制备;薄膜;表面等离子体;纳米复合材料;金属钛薄膜;纳米多孔铜;铝铜合金;基体材料表面;氮化钛薄膜;薄膜表面;工艺兼容;基体材料;四氯化碳;金属铝;硅气;刻蚀;去除

中文摘要：本发明提供一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法，包括基体材料，在基体材料表面溅射沉积金属钛薄膜，在金属钛薄膜表面溅射沉积铝铜合金薄膜，采用四氯化碳气相刻蚀的方法去除铝铜合金薄膜中的金属铝得到纳米多孔铜薄膜，在纳米多孔铜薄膜表面溅射沉积氮化钛薄膜，本发明提供了一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法，其目的在于克服现有技术中的成本高的缺陷，其制备方法简单、成本低、与硅气相工艺兼容。