文献类型：专利

中文题名：一种硅片清洗烘干装置

作者：徐海涛[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：发明专利

申请号：CN201810313277.8

申请日：20180410

申请人地址：312000 浙江省绍兴市环城西路508号

公开日：20180904

代理人：郭云梅

代理机构：绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙)

语种：中文

中文关键词：清洗烘干机构;清洗;硅片清洗;清洗效果;支撑架;支撑台;喷洗;超声波发生器;超声波清洗槽;喷头;传送装置;顶部设置;光伏设备;烘干装置;化学溶液;超声波;烘干室;接水槽;热风机;上料台;酸洗槽;防毒;硅片;烘干;上料;费力;溶解;腐蚀

中文摘要：本发明涉及光伏设备技术领域，且公开了一种硅片清洗烘干装置，包括第一支撑架，所述第一支撑架的顶部固定连接有支撑台，所述支撑台的底部一侧设置有清洗烘干机构，所述清洗烘干机构的顶部设置有防毒机构，所述清洗烘干机构的一侧设置有上料台。本发明解决了现有的硅片清洗时上料费力、效果不佳、有毒气体乱飘和传送装置易腐蚀的问题，通过清洗烘干机构、酸洗槽、超声波清洗槽、超声波发生器、喷洗槽、喷头、烘干室、热风机和接水槽，改变硅片通常采用一种方式清洗，导致清洗效果不佳的问题，只需要先用化学溶液溶解，然后利用超声波进行清洗，最后进行喷洗，清洗完毕后再烘干，从而达到良好的清洗效果。