文献类型：专利

中文题名：一种雾化辅助CVD的尾气排放净化装置

作者：刘士彦[1];方泽波[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：发明专利

申请号：CN202111084308.5

申请日：20210916

申请人地址：312000 浙江省绍兴市越城区环城西路508号

公开日：20211231

代理人：焦亚如

代理机构：33285 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙)

语种：中文

中文关键词：排放腔;混合腔;自增压;聚四氟乙烯薄膜;接管;接入管道;竖直设置;雾化片;翅片;雾化;尾气;多孔板支撑;电子器件;净化装置;缩口管状;尾气排放;转动部件;多孔板;接入管;增压区;腔体;缩紧;缩口;同轴;支撑;体内;排放;出口

中文摘要：本发明提供一种雾化辅助CVD的尾气排放净化装置，涉及雾化辅助CVD领域，包括至少一个混合腔和排放腔，混合腔内设置有支撑多孔板、聚四氟乙烯薄膜、雾化片和翅片，聚四氟乙烯薄膜将混合腔分为两部分，聚四氟乙烯薄膜通过支撑多孔板支撑，并形成若干腔体，雾化片分别设置若干个腔体内，翅片分别竖直设置在混合腔内的顶部，最后一个混合腔通过排放腔接入管与排放腔相连，自增压泵接管竖直设置在排放腔内，自增压泵接管呈缩口管状，排放腔接入管道同轴布局在自增压泵接管内，排放腔接入管道的出口位于自增压泵接管缩口处，且设置有一个缩紧增压区。该发明有效的实现在对尾气进行排放处理时，尾气不与转动部件或电子器件相接触，从而极大的提高了安全性。