文献类型：专利

中文题名：一种氮掺杂超晶格金属氧化物薄膜材料的制备方法

作者：方泽波[1];刘士彦[1];杨天波[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：发明专利

申请号：CN201610821668.1

申请日：20160914

申请人地址：312000 浙江省绍兴市城南大道900号绍兴文理学院数理信息学院

公开日：20170714

代理人：李静

代理机构：11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)

语种：中文

中文关键词：衬底;金属氧化物薄膜;金属氧化物溶胶;单晶硅基片;干膜;碱液;浸泡;衬底表面粗糙度;自然超晶格结构;金属;中性洗涤剂;氮化;氨水溶液;薄膜材料;表面清洗;超声震荡;加压曝气;金属湿膜;梯度升温;退火处理;超晶格;氮掺杂;金属膜;涂抹法;烘干;滴加;钝化;涂胶;粘附;配置;制备;清洗

中文摘要：本发明公开了一种氮掺杂超晶格金属氧化物薄膜材料的制备方法，其步骤如下：步骤1，选用单晶硅基片作为衬底，进行采用中性洗涤剂表面清洗；步骤2，将单晶硅基片浸泡至碱液中，然后超声震荡清洗；步骤3，配置金属氧化物溶胶；步骤4，将配置好的金属氧化物溶胶滴加至衬底上，进行旋转涂抹法，均匀涂胶后得到金属湿膜；步骤5，采用梯度升温法，得到金属干膜；步骤6，将金属干膜浸泡至氨水溶液中进行加压曝气反应；步骤7，将氮化金属膜烘干后进行退火处理，自然冷却后得到薄膜材料。本发明采用碱液钝化衬底能够大大增加衬底表面粗糙度，提高金属氧化物薄膜的粘附效果，有利于形成自然超晶格结构。