文献类型：专利

中文题名：一种极紫外激光放大装置及其使用方法

作者：尉鹏飞[1];郁慧珍[1];俞军[1];杨丁中[1];董一鸣[1];连进玲[1];梁奇锋[1];

机构：[1]绍兴文理学院;

专利类型：发明专利

申请号：CN201510143579.1

申请日：20150331

申请人地址：312000 浙江省绍兴市城南大道900号数理信息学院

公开日：20150624

代理人：蒋卫东

代理机构：33220 绍兴市越兴专利事务所

语种：中文

中文关键词：紫外激光;束片;光源;聚焦透镜;驱动光束;波片;分束;铝膜;延时;原子分子气体;能量控制器;放大装置;特性研究;激发态;放大

中文摘要：本发明涉及一种极紫外激光放大装置及其使用方法，包括光源,光源的一侧安装有分束片,分束片将光源分为激发光束和驱动光束,激发光束的一侧安装有延时装置,延时装置的一侧安装有第一全反镜和第二全反镜,第一全反镜和第二全反镜之间安装有能量控制器,且第二全反镜的下方安装有1/4波片,1/4波片的下方安装有合束片；驱动光束的下方安装有第三全反镜，第三全反镜位于合束片的一侧，合束片的另一侧安装有聚焦透镜，聚焦透镜的一侧安装有气体盒，气体盒的一侧安装有铝膜，铝膜的一侧为极紫外激光。本发明结构简单，操作简易，适用性强，不仅可以用于极紫外激光的产生和放大，而且可以用于其余原子分子气体的激发态特性研究。